一、项目基本信息

1、项目编号：HKUSTGZ-25-G00048

2、项目名称：电子束光刻软件及光刻仿真软件升级包采购项目

3、采购方式：定向采购

4、项目需求：电子束光刻修正软件升级包5套，光刻仿真软件升级包5套，详见附件

二、申请理由及依据

1、申请理由：为满足科研实验需要，我校实验室前期购置了电子束光刻修正软件（品牌型号：GenISys/BEAMER）及光刻仿真软件（品牌型号：GenISys/LAB）。现为提升实验室高精度光刻科研能力，解决电子束曝光邻近效应，满足MEMS传感器、三代半导体等领域高精度加工需求，现需对上述两个软件进行优化升级。本项目拟采购电子束光刻修正软件升级包5套及光刻仿真软件升级包5套。

经市场调研，电子束光刻修正软件升级包须完全保障本实验室电子束光刻修正工作的长期可靠运行，完全匹配已有软件的图形数据处理、格式转换、邻近效应校正等关键功能的持续优化升级，目前仅有原软件厂商（GenISys GmbH）的升级包完全满足我校对已有电子束光刻修正软件的功能优化及配套升级需求。同时，光刻仿真软件升级包须完全保障光刻设备实现多种曝光，并完全满足电子束剂量分布、光刻胶成像高真实度仿真功能的长期使用与持续优化升级需求，为实验前的参数模拟与效果预判提供关键数据支撑。目前仅有原软件厂商（GenISys GmbH）提供的升级包能保证与光刻设备的高度兼容，可减少工艺调试运行过程中的不匹配发生率，降低反复调试工艺成本和时间成本，便于提高整体的科研工作效率和质量，推动相关研究项目的顺利开展，是唯一能满足我校对已有光刻仿真软件的功能优化及配套升级需求的软件升级包。后经多名专家论证，除Genlsys外，目前市场上没有其他品牌的软件升级包能够完全保障已有软件的升级且实现本项目所有技术指标及功能需求。

综上所述，本项目拟采用定向采购方式，向广东省北尚进出口有限公司（GenISys公司针对本项目的唯一授权代理商），采购电子束光刻修正软件升级包及光刻仿真软件升级包。

2、申请依据：本项目符合《香港科技大学（广州）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第1点“货物或服务只能由唯一供应商提供”情形。

三、拟定供应商

1、供应商名称：广东省北尚进出口有限公司；地址：深圳市光明区马田街道薯田埔社区福东路33-35号602

四、公示期限

自本公告发布之日3个工作日

五、采购人联系方式

联系人：黄老师

联系电话：(略)

联系邮箱：carinajlh@hkust-(略)

香港科技大学（广州）采购处

2025年10月17日