公告正文
| 项目名称 | 成越桌面型前开门双靶直流+射频磁控溅射镀膜仪DC+RF主机CY-MSZ254-II-DCRF-SS | 项目编号 | JJ(略) |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | (略)00 | 公告截止日期 | (略)00 |
| 采购单位 | 重庆大学 | 付款方式 | 预付款90%，尾款到货验收合格后支付 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 合同签订3个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 重庆大学化学化工学院 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 成越桌面型前开门双靶直流+射频磁控溅射镀膜仪CY-MSZ254-II-DCRF-SS | 1 | 台 | 其他电工、电子生产设备 |
| 品牌 | 郑州成越科学仪器有限公司 |
|---|---|
| 型号 | CY-MSZ254-II-DCRF-SS |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 产品型号 CY-MSZ254-II-DCRF-SS； 真空腔 腔体尺寸 φ273X280 腔体材质 304不锈钢焊接而成，表面做抛光处理 取放模式 前开门方式取放样品和靶材 观察窗 直径100mm真空窗口，配有磁力挡板，防止污染 样品台 样品尺寸 直径≦100mm的平面样品均可 旋转速度 （0-30RPM）（可选） 加热温度 RT-500℃ （ 选配） 控温精度 ±1℃ 磁控靶 靶枪类型 永磁靶x2，可调角度 靶材尺寸 直径2英寸，厚度≦3mm, 溅射功率 500W 溅射方式 直流+射频溅射 极限真空 10x-5pa 工作真空 0.3-3Pa 电源 直流电源 500W *1 射频电源 500W *1 溅射气体 高纯氩气，纯度99.99% 质量流量计 1路 0-500 ccm( 选配） 水冷系统 水箱容积 9L 流量 10L/min 控制系统 7英寸智能触摸屏控制系统 真空测量 复合真空计，电阻规+电离规，测量范围：105-10-5Pa （选配） 真空获取 前级泵 抽速 1.1L/S 分子泵 抽速 60L/S 日本进口真空泵集成机器一体，空间更小 成越分子泵组 600L/s 可以灵活搭配其他真空设备 抽气口 KF40 出气口 KF16 膜厚测量 CYKYTM106膜厚测量仪 （选配） 冷却方式：水冷 测量精度 ：0.1埃米 外形尺寸 550mm*350mm*450mm 供电电压 AC220V,50Hz 包装尺寸 770×720*730mm 包装重量 110 KG |
| 售后服务 | 电话支持:7x24小时;质保期限:2年;响应时间:8小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
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