公告正文
| 光刻设备维修部件 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光刻设备维修部件 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)电工、电子生产设备零部件 |
| 采购需求概况 ： | 光刻设备上因为故障损坏或性能衰退，导致机台不能正常运行或不能达成技术指标的部件，需要更换，以保证机台正常工作。采购标的需满足机台原厂备件技术指标，并提供安装调试服务，保证更换备件后机台正常运行。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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