电子光学及离子光学仪器

为满足科研需求，现计划采购1套8英寸高真空电子束蒸镀系统 ，旨在实现大面积高质量薄膜的稳定制备。该系统必须能够提供优于 9×10^-8Torr的极限真空环境 ，并确保在8英寸样品范围内的镀膜厚度均匀性优于±3% 。核心蒸发源需配备4个容量为15cc的坩埚，且具备自动旋转选择坩埚及电子束自动扫描的功能 。为达到真空要求，系统需配置抽速不低于600 L/min的前级泵 和抽速不低于4000 L/s的高真空冷泵 。此外，系统需搭载全自动PLC控制系统，具备用户权限管理、工艺流程一键启动、数据记录与故障报警等功能 。供应商须承诺在合同签订后6个月内完成交货 ，并提供自设备验收合格之日起不少于2年的整机质保服务。