公告正文
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr(略)2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr(略) |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 2200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A0(略)其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 是为实现亚微米及纳米级超高精度图形化所不可或缺的装备，为柔性神经电极与高端传感器研发中的高密度互连、微电极阵列及特异形貌结构的制备提供了光刻解决方案。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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